GMS的主要目的是通过对所有潜在的危险气体泄漏点的监控,在保证人员安全的前提下,尽可能的保证生产连续并不受干扰的进行。
GMS是气体信息系统,主要负责收集气体供应设备气体供应状态,如管路压力、阀门状态、报警和故障情况等,当监控区域出现气体供应设备异常时,该系统能实时提供区域设备报警提示,让现场操作人员最快时间发现问题,同时还可实现定期自动抄表功能。
随着科学技术及智能技术的发展,人们对半导体集成电路芯片需求越来越大.集成电路的生产加工由于工艺的需求,需要使用到一定量的特殊气体,为保证生产线人员的安全及生产过程的稳定可靠,半导体厂务运营中心需要对生产工艺中使用到的气体是否泄漏进行实时监控。
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